应用领域：
table pvd-15 一款小型电阻蒸发镀膜仪，主要特点是设备体积小，结构简单紧凑易于操作， 适用于实验室制备金属单质膜、 半导体膜、钙钛矿太阳能电池、锂电池、有机膜等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等。
可镀制低熔点金属及合金材料薄膜，单层 / 多层 / 复合膜，（ au, ag, al, ca, cu, mg, cr,ni 等）；镀制非金属 / 化合物 等材料薄膜（ mo03, lif） 等；有机材料等蒸发；太阳能电池、led 的研究和实验；描电镜制样等。
基本配置：
◆真空腔室：φ250mm(id) x 300mm(h)
◆真空系统：机械泵分子泵两级真空系统 前级泵：vrd-16 机械泵，抽速：4l/s 主抽泵：分子泵，抽气速率：300l/s 主抽阀：ccq-100 超高真空气动插板阀，
◆极限真空：<5×10-5pa
◆恢复真空：<6.7×10-4pa(< 45 min)
◆真空测量：“两低一高” 数显复合真空计
◆蒸 发 源：2 组金属蒸发源；（标配） 最多 2 个有机束源炉源；（选配）
◆蒸发电源：采用恒压、恒流真空镀膜电源， 最大功率 2.4kw，电流调节精度：0.01a
◆样品台：可容纳样品最大尺寸：3 英寸样品托一个 , 配挡板，转速 0-30rpm 连续可调 ; 样品可加热控温， 温度范围：室温 -300℃，控温精度 ±0.5℃；
◆系统控制：10 英寸触摸屏 plc 控制（可选手动按钮控制）
◆工作气体 : 干燥压缩空气、氮气
◆电 源 : 单相 220v , 50hz, 16a
◆冷 冻 水 :18-25℃ , 1l/min，压力 < 0.4mpa
选择配置：
◆样品台可水冷，采用直接式水冷形式，水冷不控温
◆全量程真空计（ inficon）
◆速率 / 膜厚监控测仪（sqm-160）
◆可选进口蒸发电源
系统要求标准配置：
◆真空腔室：φ250mm(id) x 300mm(h)
◆真空系统：机械泵分子泵两级真空系统 前级泵：vrd-16 机械泵，抽速：4l/s 主抽泵：分子泵，抽气速率：300l/s 主抽阀：ccq-100 超高真空气动插板阀， ◆极限真空：<5×10-5pa
◆恢复真空：<6.7×10-4pa(< 45 min)
◆真空测量：“两低一高” 数显复合真空计
◆蒸 发 源：2 组金属蒸发源；（标配） 最多 2 个有机束源炉源；（选配）
◆蒸发电源：采用恒压、恒流真空镀膜电源， 最大功率 2.4kw，电流调节精度：0.01a
◆样品台：可容纳样品最大尺寸：3 英寸样品托一个 , 配挡板，转速 0-30rpm 连续可调 ; 样品可加热控温， 温度范围：室温 -300℃，控温精度 ±0.5℃；
◆系统控制：10 英寸触摸屏 plc 控制（可选手动按钮控制）
