装置将 13.560mhz 射频源加至反应室外的电感线圈 , 用电感耦合方式激励气体 , 使其放电产生等离子体 . 这种方式具有放电效率高、无电极放电污染的特点 , 并可以获得纯净的等离子体 . 装置适合大学物理、材料、化学等领域科学研究之用。
实验内容
1、等离子体消毒灭菌实验 , 如大肠杆菌 (8099)、金黄色葡萄球菌 (atcc6538)；
2、等离子体材料表面改性实验 , 如纸张亲水性、纸张接触角；
3、等离子体材料表面清洗实验；
4、等离子体聚合实验。
主要技术参数
1、等离子体腔体体积：φ140mm×（h）155mm；
2、射频功率： 0 ～ 500w；频率：13.560mh z ；
3、工作气压： 20 ～ 200pa（建议工作在 100 pa 以下）；
4、反应腔本底真空： ≤ 5pa；
5、反应腔极限真空： 1×10 -1 pa；
6、等离子体电子温度： 1 ～ 8ev；
7、流量控制器： 0 ～ 1000sccm；
8、工作电压： ac220v±5% 50hz；
9、整机功率： ≤ 1.5kw；
10、整机重量： 约 100kg；
11、外形尺寸： 长 650× 宽 610× 高 1000mm。
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