本系列实验装置是一款紧凑型等离子薄膜溅射仪,专门设计为在基底上镀上金属膜,如金,铂,铟和银等。最大可放置样品尺寸直径为 40mm,膜厚可达 300 埃,特别适用于为 sem 样品镀上金而作为导电极。
主要技术参数
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